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  • EDGE SHIELD,XT PEDESTAL CLEAN CHAMBER

    설비명
    Endura
    재질
    Aluminum

    Shield AU

    설비명
    Endura
    재질
    Aluminum

  • Upper Shield

    설비명
    ENTRON
    재질
    Stainless steel

    Earth Shield

    설비명
    ENTRON
    재질
    Stainless steel

  • CIP Collimator

    설비명
    Endura
    재질
    Aluminum

    RFX Collimator

    설비명
    Endura
    재질
    Aluminum

  • Focus Ring

    설비명
    Endura XP
    재질
    Titanium

    Shower Head

    설비명
    Endura
    재질
    Aluminum

  • Plate Gas Distribution, TXZ

    설비명
    Endura
    재질
    Aluminum

    Reverse Tophat Shield

    설비명
    INOVAxT
    재질
    Stainless steel
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