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L-POSITION TRAY 대차
SS41 + SUS304
LCD GLASS 반송용 TRAY 교체작업
협착 방지COVER , END STOPPER
원장용 MGV
1300*2000*2500 (주문제작 가능)
AL + SUS304 外
낱장의 GLASS를 OVEN에 LOAD / UNLOAD
S-MARK , INTER LOCK SENSOR , BMS(TEMP&FIRE), BUMPER SWICH
FOUP 세정기
900*1050*1512 (주문제작 가능)
SUS316 + AL PROFILE
FOUP WET 세정 및 이물관린
INTER LOCK SENSOR , LEAK SENSOR
PART’S CLEAN STATION
SUS316 外
PART’S의 건식 세정 및 이물제거
MANUAL INTER LOCK
ESC MGV
1110*2330*1550 (주문제작 가능)
AL PROFILE 外
증착설비 ESC LOAD / UNLOAD
CE-MARK , INTER LOCK SENSOR
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