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Consumable Spare Parts

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  • ESC Al Body

    설비명
    Aluminum
    재질

    Slot Ground Ring

    설비명
    Aluminum
    재질

  • End Plate

    설비명
    Aluminum
    재질

    End Plate

    설비명
    Aluminum
    재질

  • Plate Gas Box

    설비명
    재질

    Unibody Chamber

    설비명
    Aluminum
    재질
    P5000

  • Upper Electrode

    설비명
    Aluminum
    재질

    Exhaust Hole Plate

    설비명
    Aluminum
    재질
    N/A
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